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Mitutoyo光學量測儀/三次元測量儀
Mitutoyo白光干涉儀
Mitutoyo WLI 白光干涉儀
Mitutoyo WLI 白光干涉儀
主要特點
利用白光干涉的非接觸式高精度精細表面紋理測量→3D形狀測量、3D粗糙度測量
高度測量精度與光學放大倍率無關
即使使用低倍率鏡頭也可進行高Z 解析度測量
高縱橫比測量
支援高縱橫比形狀測量,檢測不依賴光學系統的數值孔徑
抗干擾振動的高穩健性
小巧輕便
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主要特點
利用白光干涉的非接觸式高精度精細表面紋理測量→3D形狀測量、3D粗糙度測量
高度測量精度與光學放大倍率無關
即使使用低倍率鏡頭也可進行高Z 解析度測量
高縱橫比測量
支援高縱橫比形狀測量,檢測不依賴光學系統的數值孔徑
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